2017年11月22日,北方华创部属子公司北京北方华创微电子配备有限公司自主研制的国内首台8英寸金属刻蚀设备Move in我国最大代工厂出产线,为国产高端配备在国内集成电路芯片出产线的使用再添新秀,是国产高端配备使用工艺的又一次重要打破。
北方华创微电子本次推出的产品为NMC508M Metal Etch设备,使用于8英寸0.13um及以下技能代Al金属刻蚀工艺。Al金属刻蚀是集成电路制程中的一道重要工艺过程,大范围的使用在存储器及逻辑产品中。NMC508M Metal Etch设备是北方华创微电子根据多年在集成电路刻蚀设备技能堆集基础上,针对终端用户的需求来做了设备的深度定制开发,在8英寸传统刻蚀技能基础上集成使用了多项12英寸刻蚀设备的先进的技能,要害技能指标到达世界先进水平。
NMC508M Metal Etch设备Move in国内干流芯片制作企业是北方华创微电子在商场拓宽中取得的又一个重要成果,标志着国产设备打破了世界设备厂商的独占,改变了近年来8英寸金属刻蚀机一机难求的困难局势。一起,国产金属刻蚀设备国产化使用,不只有利于下降芯片出产企业设备收购本钱,并且能使国内芯片企业能取得国内设备厂商的更优质和快捷的技能服务。
到目前为止,北方华创微电子已连续开宣布硅刻蚀机、分散炉、金属刻蚀机等8英寸集成电路工艺设备,在国内出产线开端了批量使用。北方华创微电子将以客户的实在需求为导向,进行继续的技能和产品立异,不断为国内集成电路工业供给更优质的配备解决方案。
