【芯事记】“2022订单增势强劲业绩再创新高”中微公司持续巩固刻蚀设备市场领先地位

  3月31日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）发布2022年年度报告，业绩再创新高。

  财报显示，受益于半导体设备市场发展和公司产品竞争优势，中微公司2022年实现营业收入47.40亿元，同比增加约52.50%；2022年毛利21.68亿元，同比增加约60.88%。受营业收入和毛利的增长，2022年归母纯利润是11.70亿元，同比增加约15.66%。

  过去一年，中微公司设备销售高增，订单增势强劲。2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%。

  具体来看，CCP刻蚀设备方面，中微公司2022年共生产付运475个CCP刻蚀反应腔，同比增长59.40%。在先进逻辑器件方面，其双反应台刻蚀机逐渐完备设备性能，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。在存储器件方面，其刻蚀设备不仅在3DNAND的生产线被大范围的应用，还成功通过多个动态存储器的工艺验证，并取得重复订单。

  ICP刻蚀设备方面，中微公司在超过20个客户的逻辑、DRAM和3DNAND等器件的生产线多个ICP刻蚀工艺的量产，并持续扩展到更多刻蚀应用的验证，发展势头强劲。应用ICP技术的8英寸和12英寸深硅刻蚀设备在晶圆级先进封装、2.5维封装和微机电系统芯片生产线等成熟刻蚀市场继续获得重复订单。

  MOCVD设备方面，中微公司用于氮化镓功率器件生产的MOCVD设备目前已交付国内外客户进行生产验证，并取得重复订单。今年3月，中微公司收到兆驰股份52腔MOCVD设备采购订单；10月，中微公司宣布全球第500台MOCVD设备付运国内LED外延片和芯片研发生产制造商。

  截至2022年底，中微公司累计已有3311个等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线全面实现了量产和大量重复性销售。CCP刻蚀设备累计已有2320台反应台在生产线合格运转；在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，其CCP刻蚀设备已有超过200台反应台在生产线合格运转。ICP设备PrimoNanova系列新产品在客户端安装腔体数已达到297台。MOCVD设备出货量超过500腔。

  与此同时，集微网根据招标平台公开数据整理统计，2022年，中微公司中标华虹半导体、积海半导体、上海积塔等企业项目，共计18台设备，包括提供氧化膜离子刻蚀设备、钝化膜等离子体刻蚀机、氮化硅等离子体刻蚀机、电介质刻蚀机等。

  过去一年，中微公司保持比较高的研发投入，不间断地积累技术优势，相关这类的产品研发进展顺利，客户端验证情况良好，持续巩固市场领头羊。2022年研发投入为9.29亿元，相较去年同期增长27.61%，占收入比例为19.59%。

  具体来看，CCP方面，中微公司CCP刻蚀设备相关这类的产品已大范围的应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线。同时，针对一体化大马士革刻蚀工艺，开发了可调节电极间距的刻蚀机；针对存储器件，开发了极高深比刻蚀机。

  ICP方面，中微公司持续攻克ICP刻蚀设备技术难点，开展技术创新，推出用于高深宽比结构刻蚀的NanovaVE和用于高均匀性刻蚀的Nanova UE，并在原有的双台机ICP刻蚀设备Primo Twin-Star的基础上，通过研发晶圆边缘保护功能和低频偏压系统，推出了Twin-Star SE产品。至此，中微公司ICP刻蚀设备形成了完整的单台和双台刻蚀设备的布局。此外，中微公司8英寸和12英寸深硅刻蚀设备在300mm的3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户300mm微机电系统芯片的生产线上获得认证机台的机会。

  薄膜沉积方面，中微公司正开发用于氮化嫁、碳化硅的功率器件制造的外延设备，以及制造Micro-LED器件的MOCVD设备；新型号的CVD钨和ALD钨设备是高端存储器件的关键设备，目前已开始实验室测试同时和关键客户开始对接验证；应用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备进入实验室测试阶段；面向28纳米及以下的逻辑器件、存储器件和功率器件等的EPI设备，已进入样机制造和调试阶段。

  一直以来，中微公司格外的重视零部件的国产化。3月2日，其在投资者关系活动记录表中表示，刻蚀设备的零部件国产化率约60%，MOCVD的零部件国产化率约80%。

  专利方面，2022年报告期内，中微公司新增专利申请247项，包括发明专利197项，实用新型专利40项，外观设计专利10项。截至2022年12月，中微公司已申请2259项专利，其中发明专利1938项，占比85.79%；已获授权专利1266项，其中发明专利1097项，占比86.65%。

  此外，中微公司产业化建设项目正在顺利推进中。其南昌生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于2022年7月投入试生产；上海临港的生产和研发基地主体建设已完成，2023年将部分投入到正常的使用中；上海临港的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。（校对/韩秀荣）