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金融界2024年9月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，帝尔激光科技（无锡）有限公司请求一项名为“一种使用分光光斑的激光刻蚀办法及激光刻蚀设备”的专利，公开号 CN 118682294 A，请求日期为 2023 年 3 月。
专利摘要显现，本发明公开了一种使用分光光斑的激光刻蚀办法，选用多个分光方式的脉冲激光沿着扫描途径对刻蚀目标进行刻蚀，每个所述分光方式的脉冲激光由脉冲激光通过火束器后得到的若干个分光光斑组成；且激光刻蚀过程中，操控每次后一个分光方式的脉冲激光在前一个分光方式的脉冲激光的基础上沿所述扫描途径移动一个相对偏移量 d，构成堆叠的刻蚀作用。本发明规避了前一脉冲激光刻蚀时发生的生成物对下一个脉冲激光的搅扰，使得刻蚀作用显著改进，刻蚀作用更均匀；一起极大的增加了加工功率。
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