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证券时报e公司讯，盛美临港研制与制作中心迎来里程碑时间——首台量测设备 KLA-Tencor Surfscan SP7入驻研制洁净室，标志着盛美的研制实力迈上新台阶，Surfscan SP7 的参加提升了公司的量测才能至1x纳米(nm)。
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