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珠海镓未来请求半导体器材制造相关专利大幅度的下降工艺本钱和时刻

来源:米乐体育    发布时间:2024-12-11 00:33:46

简要描述:

金融界2024年10月24日音讯,国家知识产权局信息数据显现,珠海镓未来科技有限公司请求一项名为...

  金融界2024年10月24日音讯,国家知识产权局信息数据显现,珠海镓未来科技有限公司请求一项名为“半导体器材制造的进程及半导体器材”的专利,公开号CN 118800656 A,请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现,本请求施行例供给了一种半导体器材制造的进程及半导体器材;本请求施行例在制造半导体器材时,在制造电介质层之后,能够在该电介质层上经过光刻构成多种宽度的光刻窗口,然后,经过干法刻蚀,在光刻窗口处构成深度不等的凹槽结构,再然后,经过对该电介质层进行湿法刻蚀,使得相邻的凹槽结构连通,从而构成多个深度不同的台阶结构,尔后,便能够在这些台阶结构上制造金属场板等结构,以得到半导体器材;该计划能够大幅度下降工艺本钱和时刻,进步制造功率和器材的可靠性。

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