发布了2024年前三季度陈述,财报显现公司完结盈余收入 55.07 亿元,同比添加36.3%。其间刻蚀设备收入 44.13 亿元,同比添加约 53.77%。第三季
中微公司的根本的产品包含刻蚀设备、MOCVD 设备、薄膜堆积设备,以及VOC 设备等其他设备。2024 年前三季度,公司等离子刻蚀设备收入44.13 亿元,占总收入比80.13%;其间CCP (等离子体刻蚀设备)收入23.87 亿元,占总收入比 43.33%;ICP (电感耦合等离子体刻蚀设备)收入 20.26亿元,占总收入比 36.79%。
CCP和ICP是两类干流的干法刻蚀设备,国内首要厂商有中微公司和华创北方。北方华创是ICP发家。中微公司是CCP发家,2007年研制了首台CCP设备,随技能投入,进入更多半导体设备范畴。仅仅是本年上半年,中微公司累计出产付运超越 3600 个 CCP 刻蚀反响台,新增付运设备数量创前史新高。
不过净利润下滑了21.27%,为9.12亿元。关于净利润下滑,中微公司表明首要是遭到研制投入添加的影响,前三季度的研制开销同比添加96.0%。前三季度公司研制开销 15.44 亿元,占公司营收份额约为 28.03%。中微公司表明,“本年,商场对中微开发多种新设备的需求急剧添加,2024 年公司明显加大研制力度,以赶快补短板,完结赶超。”
先进制程和先进存储拉动刻蚀设备的需求的要害,而且对设备技能也有更高的要求。材料显现,先进制程对刻蚀工艺次数的要求更多,65nm制程、10nm制程、5nm制程别离需求20次、117次、160次刻蚀工艺,且对精确度也有更高的要求。而先进存储芯片结构逐步变得复杂,例如3D NAND层数继续不断的添加,则要求刻蚀技能有更高的深宽比。
在存储器材制作工艺中,中微公司针对超深邃宽比刻蚀自主开发的具有大功率 400kHz 偏压射频的 Primo UD-RIE 现已在出产线 深宽比结构的量产才能。该设备适用于DRAM和 3D NAND 器材制作中最要害的深邃宽比刻蚀工艺。
针对ICP设备,中微公司方案推出下一代 ICP 刻蚀设备,以满意新一代的逻辑、DRAM 和 3D NAND 存储等芯片制作对 ICP 刻蚀的需求。
在薄膜堆积设备方面,现在在研制的薄膜堆积类产品一共有 20 多类,2023 年现已付运
MOCVD 设备方面,中微公司活跃布局用于碳化硅和氮化镓基功率器材使用的商场,并在 Micro-LED和其他显现范畴的专用 MOCVD 设备开发上获得发展,几款已付运和行将付运的 MOCVD 新产品正在连续进入商场。
此外,中微公司的EPI 设备已顺畅进入客户端量产验证阶段,已完结多家先进逻辑器材与 MTM 器材客户的工艺验证。
商场需求的添加为中微公司带来更多的订单,也是前三季度成绩添加的要害。中微公司前三季度新增订单76.4 亿元,同比添加约 52.0%。其间刻蚀设备新增订单 62.5 亿元,同比添加约 54.7%;新产品LPCVD 新增订单3.0 亿元,新产品 LPCVD 设备首台出售的收益为 0.28 亿元,开端发动放量。
中微公司表明,依照每个客户订单需求,前三季度共出产专用设备 1,160 腔,同比添加 约 310%,对应产量约94.19亿元,同比添加约 287%。
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