2024-07-02,安全证券发布一篇半导体职业的研究陈述,陈述阐明,刻蚀-半导体制作中心设备,国产化之模范。
刻蚀:半导体制作三大中心设备之一。刻蚀首要担任去除特定区域的资料然后构成细小的结构图画,与光刻、薄膜堆积并称为半导体制作三大中心设备,占半导体前道设备价值总量的22%,位置无足轻重。等离子体干刻是现在刻蚀的干流计划,包含ICP和CCP两大类,ICP可用于硅、金属以及部分介质刻蚀,CCP大多数都用在介质刻蚀,两者市占率不相上下。跟着晶体管尺度不断缩小,对刻蚀的精准度要求更高,原子层刻蚀(ALE)上台,其能够看做是ALD的镜像进程,具有自中止特点,刻蚀精度达单原子层级,现已应用于自对准触摸等需原子级精细操控的工艺中,颇具潜力。 格式:国产化之模范,成功打入世界商场。全球刻蚀设备商场归于寡头独占格式,LAM、TEL、AMAT三巨子长时间占有全球九成以上的商场占有率,LAM一家市占率就挨近五成,独占性强。但是,刻蚀也是国内首先获得打破的半导体中心设备,已成功打破海外独占进入世界商场,2015年,美国商务部取消了等离子体刻蚀机对我国的出口操控,旁边面印证了国内刻蚀设备现已获得打破。中微公司、北方华创002371)、屹唐股份等厂商在刻蚀设备的国产化方面做出了突出贡献:中微公司首要经营产品为刻蚀机,在CCP、ICP范畴具有强壮的竞赛力,其刻蚀设备已批量应用于世界先进5nm及以下产线;北方华创的ICP出货已逾越3200腔(截止2023年末),与中微公司同属国内刻蚀设备商场的主力军;屹唐股份的刻蚀设备应用到三星、长存的产线中。整体看,国内刻蚀设备成功打破海外独占,抵达世界领先水平,是国产代替的模范。 亮点:国产代替+先进制程+海外拓宽有望拉动长时间增加。国产代替、自主可控为国内半导体厂商供给了巨大的开展空间,刻蚀设备的国产化现已迈入正轨,国内半导体商场将为刻蚀厂商供给连绵不断的订单;此外,先进制程、先进存储需求更多次数的刻蚀工艺,且对刻蚀设备的精度要求更高,单位产线产能的刻蚀设备价值量大幅度的进步。长时间看,海外商场也有望为国内刻蚀厂商供给新的增加点,原由于:1)全球首要半导体厂本钱开支处于较高水平;2)国内刻蚀设备具有全球竞赛力,在部分范畴有才能与世界巨子打开直面竞赛。 出资主张:刻蚀设备是国内首先获得打破的半导体制作中心设备,技能产品力强壮,国产代替已成常态,且成功进入海外商场打开世界竞赛。当时,国内先进制程、先进存储产能仍显缺乏,技能打破、产能扩张诉求较强,刻蚀设备的国内商场空间长时间富余,且全球半导体厂商的本钱开支仍处在高位,长时间看,具有强壮竞赛力的国内刻蚀设备厂有望不断腐蚀海外商场,为其成绩持续增加供给足够的动力。引荐中微公司、北方华创。 危险提示:(1)国内技能产品开发没有抵达预期的危险。(2)海外制裁加重的危险。(3)下流需求没有抵达预期的危险。
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