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当时方位：成都汉普升科技有限公司干法刻蚀体系成都真空厂家 surpass大口径干法刻蚀机配备
●Surpass系列 干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特别微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺度可达φ2500mm，经过高密度等离子体及离子浓度批改体系，可到达基片有用刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满意大口径基片刻蚀的需求。
●特别阐明：依照每个用户不同的工况和工艺技术要求，公司愿与客户联合研制，同享知识产权，公司致力于工艺与设备的匹配。
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