服务热线
010-6756 6879
职业传来好音讯。据新闻媒体报道,中微公司成功研制出3nm蚀刻机,且完成了原型机的规划、制作、测验及开始的工艺开发和评价,并已进入量产阶段。
之前,中微的等离子体刻蚀设备已使用在世界一线客户先进集成电路加工制作生产线及先进封装生产线nm刻蚀机诞生,使得我国芯片企业今后可以参加到更先进的高端芯片制作工业链中。
众所周知,半导体工艺流程最重要的包含晶圆制作、规划、制作和封测几个环节。每个环节不光需求高尖端技能,还需求很多的软件和硬件设备。单晶硅片制作需求单晶炉等设备,IC制作需求光刻机、刻蚀机、薄膜设备、分散离子注入设备、湿法设备、进程检测等六大类设备。其间,光刻机、刻蚀机、薄膜设备最为首要。
光刻机的作业原理与冲洗照片差不多,是经过显影技能将线路图复制到硅片上。而刻蚀机的作业原理是按光刻机刻出的电路结构,在硅片上进行微观雕琢,刻出沟槽或触摸孔。刻蚀机使用显影后的光刻胶图形作为掩模,在衬底上腐蚀掉必定深度的薄膜物质,随后得到与光刻胶图形相同的集成电路图形。
ASML公司EUV光刻机工程师曾表明,光刻机是人类才智的结晶,把光当成画笔,将集成电路线路图复制到硅片上。而刻蚀机则像是工匠手中的一把雕琢刀,要在头发丝几千万分之一面积的巨细上做几十层楼的“龙骨”建造,直接决议了芯片的工艺制程。
在高端芯片数百亿根晶体管,集成电路的勾勒雕琢进程中,至少需求上千个工艺过程。但如此高端、杂乱的刻蚀机终究被中微半导体打破,一向自认为技能抢先的美国企业大为不满。
近年来,美国半导体设备公司美国使用资料、泛林研制、维科为了遏止中微的开展,轮流向中微建议了商业秘要和专利侵权的诉讼,意欲遏止中微的开展。所幸的是,中微早做了充沛的预备,他们在国内外申请了1200多件相关专利,其间绝大部分是发明专利,有力地维护了其自主立异构成的知识产权。
中微掌门人尹志尧曾表明,中微是国内被美国申述最多的半导体公司,其间首要有四场大官司。这四场官司包含了专利诉讼,商业秘要等多个视点,可是无一例外,中微都获得了成功或许达到了宽和。
据悉,美国维科在蚀刻机商场被中微打得节节败退,为了遏止中微迅猛的开展势头,维科在纽约联邦法院对中微的石墨盘供货商SGL建议了专利侵权诉讼,并索要巨额补偿。但事实是SGL并没有侵略维科的专利,反而是后者盗用了中微的晶圆承载器同步确定相关专利。
为了维护本身的合法权益,中微直接建议反击,向上海海关递交了扣押维科侵权的产品,这批货物价值3000多万,直接给予维科重创,使得其不得不做出退让,自动寻求中微的体谅,两边终究达到专利穿插授权协议。
现在,中微在蚀刻机范畴现已全球抢先,但在整个芯片范畴,咱们还没有完成芯片工艺的全国产掩盖。受制于国外的设备,我国在高端芯片上和欧美还相差一段距离,逻辑器材技能水平上差三代左右,也便是5到10年的距离。
从现阶段看,国内厂商与全球龙头技能距离正在逐步缩短,国产代替迎来机遇期,中微公司把握3nm刻蚀技能的音讯也给半导体职业的开展带来了决心。尹志尧曾表明,我国人重视数理化,工程技能,又有耐性,最适合搞集成电路。“只需咱们有必定的耐性,将来必定会变成全球芯片范畴先进的国家”。
2024我国世界音频工业大会 ∣ “可靠性生产力”加快视听工业智能化晋级