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据宁波前湾新区办理委员会7月15日音讯，近来宁波冠石半导体有限公司迎来要害节点，引进首台电子束掩模版光刻机。据悉，该设备是光掩模版40nm技能节点量产及28nm技能节点研制的要点设备。
光掩模版是集成电路制作的完好过程中光刻工艺所运用的核心部件，类似于相机“底片”，光线通过掩膜版后，可在晶圆外表曝光构成电路图形。现在，我国高精度半导体光掩模版产品首要仍依赖于进口，国产化率极低。
据了解，冠石半导体首要是做45nm~28nm半导体光掩模版的规模化出产。当时，冠石半导体一期洁净车间规划产能为月产5000片180nm~28nm集成电路掩模版。据冠石相关担任的人介绍，企业正加快推动海外布局战略，并在国际一流半导体光掩模版制作技能班底的加持下，估计今年底，企业将连续实现为国内外中高端集成电路掩模版供给制版服务。
此次引进电子束掩模版光刻机，冠石半导体将成为国内技能才能先进的独立光掩模版出产企业，可添补国内高阶制程光掩模空白，打破国外高端光掩模版的独占局势，进步我国半导体光掩模工业的安全和可控性。
集微网此前报导，南京冠石科技股份有限公司于2023年5月16日与宁波前湾新区办理委员会签署《出资协议书》，出资建造半导体光掩膜版制作项目。该项目施行主体为宁波冠石半导体有限公司，项目总出资约20亿元，先期出资16亿元，拟用地约68.8亩，建造周期计划为60个月，首要出产45nm~28nm老练制程的半导体光掩膜版。
冠石科技聚集显现职业，主营业务产品中的偏光片、功能性器材、信号连接器、液晶面板及出产辅耗材等可大规模的应用于液晶电视、智能手机、平板电脑、笔记本电脑、智能穿戴等带有显现屏幕的消费电子科技类产品，现在已与京东方、华星光电、富士康、彩虹光电、维信诺等显现面板制作企业树立合作关系。
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