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珂玛科技：公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LP和激光退火设备等安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产
华林科纳新一代槽式一体机——湿法刻蚀清洗一体机
我国最强刻蚀机厂反击：行将100%自主可控申述美国国防部
北方华创董秘回复：公司前期现已发布了首台国产12英寸CCP晶边干法刻蚀设备研制成功有关信息
集成电路技术与产业发展
国产光刻机严重打破 工信部印发推行辅导
工信部就《半导体设备 集成电路制作用干法刻蚀设备测验办法》等196项行业标准揭露搜集定见
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